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TDI相机
高速TDI-sCMOS相机 Dhyana 9KTDI（简称：9KTDI）背照式TDI 相机基于*的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术，采用可靠稳定的制冷封装技术，覆盖从180nm紫外到1100nm近红外宽光谱，有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力，旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。
高速TDI-sCMOS相机 Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技术，已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可见光、近红外等弱光成像信噪比，提高设备检测精度。
Dhyana 9KTDI搭载CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12灵活配置。 相机行频最高可达9K @ 510 kHz，数据通量几乎是目前主流8K线阵相机的6倍，背照式 CCD-TDI 相机的46倍，可大幅提高设备检测效率。
相机高速运行时产生的大量热量，不仅会影响成像质量，还会引起测量结果的波动。鑫图*水冷和风冷技术，确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态，降低设备误检率。
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